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潔凈室靜電控制


1、靜電控制的基本原則

(1) 確定靜電控制級(jí)別

(2)盡量減少靜電荷的產(chǎn)生

(3)泄放和中和的辦法加速靜電荷消散,防止靜電積累

(4)保護(hù)產(chǎn)品不受ESD的損壞

2確定靜電控制的級(jí)別

(1)元器件、組件和設(shè)備靜電敏感度分級(jí)

1級(jí):易遭受0-1999V靜電電壓損壞的

2級(jí):易遭受2000-3999V靜電電壓損壞的

3級(jí):易遭受4000-5999V靜電電壓損壞的

而敏感靜電壓大于16000V的,便不必采取防靜電措施。

(2)靜電防護(hù)工作區(qū)的分級(jí)

A級(jí):允許對(duì)地靜電電位不超過(guò)±100V

B級(jí):允許對(duì)地靜電電位不超過(guò)±1000V

實(shí)際工程中是分靜電電位不超過(guò)100V、500V、1000V等對(duì)應(yīng)元器件、組件和設(shè)備靜電敏感電壓的3級(jí)。

3、盡量減小靜電荷的產(chǎn)生

這是控制靜電三步曲的第一步,在這凈化工作環(huán)境中,最好的措施:

(1)盡量采用性質(zhì)相似器材,減少在接觸摩擦分離過(guò)程中產(chǎn)生靜電電荷;

(2)盡量采用導(dǎo)靜電型或靜電耗散型材料的器材,減少接觸摩擦分離過(guò)程產(chǎn)生積累靜電荷;

(3)盡量采用減少接觸摩擦分離而產(chǎn)生靜電荷的生產(chǎn)流程。

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